Particle Detection System
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Reticle/Mask 이물 검사 장치 (PD Xpadion)
PD Xpadion은 최신 세대의 HORIBA 이물 검사 제품입니다.
혁신적인 모듈형 플랫폼 설계를 기반으로 한 PD Xpadion은 리소그래피 및 마스크 생산 공정에서 마스크 및 펠리클 검사의 현재 및 미래 요구 사항을 충족하는 데 적합한 도구입니다. Fab 자동화와 HORIBA의 핵심 기술 모음을 결합하여 사용자가 PD Xpadion 시스템을 확장하여 입자 검사 및 검출뿐만 아니라 라만 분석, 펠리클 필름 두께 및 균일성, 펠리클 상태 모니터링 도구를 통한 파티클 특성화도 함께 검토할 수 있습니다.
• 오검출 감소 기능
• 신속한 검사 레시피 최적화를 위해 (재검사 없이) 데이터를 재분석할 수 있는 기능
• 사용성이 향상된 혁신적인 소프트웨어
• OHT, EFEM, 멀티포트, 멀티슬롯 대응
• 라만 분광법 및 엘립소미터와 같은 다른 HORIBA 기술과의 내장 옵션
자동이물 제거장치(RP-1)
Blow와 진공 흡인으로 이물을 자동 제거
Reticle/Mask에 부착된 이물을 Air(또는 N2) Blow와 진공 흡인에 의해 자동 제거됩니다.
노광 전 루틴한 운용으로 매회 이물을 제거함으로써 Pellicle의 교환이나 마스크의 세정 주기를 연장시켜
Running cost 저감에 기여합니다.
이물 검사 장치 PR-PD시리즈와 조합하여 이물 제거 후의 Reticle/Mask 상태를 확인할 수도 있습니다.
제품 구매 및 관련 문의는 아래 이메일 혹은 전화 031-781-0033으로 연락바랍니다.
E-Mail : swkim@ktsemi.co.kr