다성분・미량 측정 약액 농도 모니터

반도체 BEOL 공정용 특수 복합 약액을 위한 고정밀 농도 모니터로, NIR · 전기전도도 · pH의 3가지 측정 기술을 융합하여 최대 8성분 및 ppm 수준의 미량 성분까지 안정적으로 실시간 분석할 수 있습니다.
시약과 전극을 사용하지 않는 비적정(Non-Titration) 방식을 적용하여 유지보수가 간단하며, 멀티 라인 · 멀티 레인지
측정 환경에 최적화된 솔루션입니다.

• 최대 8성분 + 첨가제 등의 미량 ppm 농도까지 측정
  다성분·미량 성분이 혼재된 복잡한 BEOL 약액을 단일 장비로 정밀 분석할 수 있어
  공정 관리 효율을 크게 향상시킵니다.
• 비적정(Non-Titration) 방식
  별도의 시약 교체가 필요 없고, 소모품이 적어 유지보수가 간단합니다.
  (자동 보정 지원, 약 6개월 1회 간단 관리 가능)
• 라인 독립형 멀티 포인트・멀티 레인지 지원
  1대의 장비로 2개 라인을 완전히 독립적으로 모니터링 가능하며,
  1유로당 6개 Range 설정이 가능해 약액 종류 변경 시에도
  신속한 약액 스위칭 측정이 가능하여 다양한 공정에 유연하게 대응합니다.
• 부생성물까지 측정 가능한 확장성
  검량선 개발을 통해 반응 부산물을 반영한 정밀 측정이 가능하여,
  공정 변화까지 고려한 고도화된 농도 관리를 실현합니다.