Wafer Sorter
본문
Model
KTSSP-300
Smart Sorter Plus는 반도체 FAB의 청정환경 내에서 전 자동화로
Wafer의 운용을 지원
Smart Sorter Plus는 반도체 FAB의 청정환경 내에서 전 자동화로 Wafer의 운용을 지원하며,
다양한 Wafer size, carrier를 지원합니다.
Smart Sorter Plus는 빠른 응답성과, 안전성을 제공합니다.
사양
| Applications | Wafer Handling & Sorting 25 Wafer align, wafer ID reading, Wafer data HOST Reporting |
|---|---|
| Wafer Size | 8”(200mm), 12”(300mm) |
| Wafer Type | Notch 12”, Flat & Notch 8” |
| Dimension | 1,730(W) x 1,420(D) x 2,000(H)mm |
| Weight | 800Kg±10% |
| Through put | 25 Wafer Align, ID Reading 90 Sec Wafer Sorting 550 Wafers/Hr (Without ID Reading, HOST Communication) |
| Option | BCR or RFID System |
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