품질 개선형 차세대 약액 농도 모니터 • 본체의 Compact화로 Layout Free 실현    종전 모델(CS-100F1 Series) 대비 높이 36%, 용적 40%, Cell부 필요 공간 46% 감소를 통해 컴팩트한 사이즈를
   실현하였습니다. 또한 광원 Unit과 모니터 본체의 분리 설치가 가능하여, 약액 공급 Unit이나 세정 장비의
   설치 공간에 맞춘 유연한 레이아웃 구성이 가능합니다.
• 고온 약액(20℃~80℃)의 Direct 안정 측정 구현    개선된 광학계와 연산 처리 방식의 고도화를 통해, 최첨단 Wet 공정에 요구되는 고온 약액의 Direct 측정이
   가능합니다. 별도의 약액 냉각 없이도 고온 상태에서 농도 변화 없이 안정적인 측정을 실현합니다.
• Inline 측정 시 Back Ground 보정 빈도 대폭 감소    종전 모델(CS-100F1 Series) 대비 정기 보정 빈도가 크게 줄어, 장비 Down Time을 최소화하고
   Throughput 향상에 기여합니다.
• 1대로 최대 6종 약액 측정 가능    1대의 모니터로 최대 6종의 약액 또는 측정 Range를 설정·측정할 수 있으며, 공정 요구에 따라 유연한 구성으로
   다양한 측정 Needs에 대응할 수 있습니다.
• 데이터 저장 기능 탑재    종전 모델(CS-100F1 Series)에는 없던 실시간 데이터 저장 기능을 새롭게 탑재하였습니다.
   이벤트 발생 시 내부 저장 데이터를 즉시 백업·분석할 수 있어, 신속하고 효율적인 서비스 대응이 가능합니다.