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전극 삽입형 도전율계(HE-480C-GC)
고내압·내약품성이 우수한 특수 Carbon 전극을 적용하여 금속 오염 없이 다양한 약액의 도전율 측정이 가능합니다.
반도체 세정 공정에서 농도 관리, 약액의 희석 관리, DI Water 리사이클 감시 등 폭넓은 공정에 적용할 수 있습니다.
• 반도체 Wet 공정의 약액 측정 및 DI Water 회수 공정에 최적
• 온도 측정 및 동시 표시 기능 탑재
• 측정값과 파라미터 설정값 동시 표시
• 다양한 온도 보상 기능 내장
• 직관적인 아이콘 표시 및 보안(Security) 기능 적용
• CE 마크 대응
| 측정 범위 | 2 전극 방식 | |
|---|---|---|
| 온도 센서 사양 | 백금 온도측정저항체 Pt1000 (0℃ 기준), 온도 계수 3850ppm/℃ 표준 | |
| 측정 범위 | 셀정수 | 0.1/cm(ESH-01시리즈) |
| 측정 범위 | µS/cm : 20.00/200.0 | mS/m : 2.000/20.00 | |
| 온도 | 0~100℃(소수점 이하 2자리 표시 선택 가능) | |
| 반복성 | ±0.5% of Full Scale (TDS 환산 표시 시 ±1.5% of Full Scale) | |
| 직선성 | ±0.5% of Full Scale (TDS 환산 표시 시 ±1.5% of Full Scale) | |
인라인 센서형 도전율계(HE-960HC)
반도체 및 액정(LCD) 공정에서 사용되는 약액의 농도 및 희석비 관리를 위해, 넓은 범위의 도전율을
고정밀로 연속 측정할 수 있는 인라인 타입 도전율계입니다.
• Wide Range 대응으로 다양한 공정 조건에 유연하게 적용
• 표시 Range 자동 전환 기능 지원
• 다양한 온도 보상 기능 내장
• 도전율 값을 농도로 환산할 수 있는 기능 탑재
• 내약품성이 우수한 기본 센서 제공
| 측정 방식 | 4 전극 카본 유통형 도전율 방식 |
|---|---|
| 측정 범위 | 0~1000mS/cm |
| 온도 | 0~100℃ |
| 반복성 | ±0.5% of Full Scale |
| 직선성 | ±0.5% of Full Scale |
TMAH 전용 농도계 (HE-960H-TM-S)
반도체 및 액정(LCD) 공정에서 사용되는 포토레지스트(Photoresist) 현상액의 주성분인 TMAH 용액 농도를
wt% 단위로 고정밀 측정할 수 있는 전용 농도계입니다.
• 최소 10 ppm 단위까지의 고정밀 농도 측정
• 온도 영향 최소화를 위한 보상 기능 내장
• 온도 측정 및 동시 표시 기능 탑재
• 아날로그 출력 자유 배분 가능
| 측정 방식 | 4 전극 카본 유통형 도전율 방식 |
|---|---|
| 측정 범위 | TMAH 0~3wt% |
| 온도 | 0~100℃ |
| 반복성 | TMAH 농도 : ±0.003 wt% 이내 도전율 : ±1.0% of Full Scale |
| 직선성 | TMAH 농도 : ±0.030 wt% 이내 도전율 : ±1.0% of Full Scale |
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