O3 Monitor
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용존 오존 모니터(HZ-960)
시약을 사용하지 않는 방식으로 운영 비용 절감이 가능하며, 친환경 공정 요구가 증가하는
반도체 제조 환경에서 오존수 농도 관리를 안정적으로 수행할 수 있는 최적의 솔루션입니다.
• 다양한 배관 사이즈 선택가능 1", 3/4", 1/2" 인라인 타입의 센서로 구성되어 용도나 장비 환경에 맞춰 선택 할 수 있습니다.
• 폭넓은 측정 범위 제공
표준 사양인 0~100 mg/L 레인지를 기반으로 총 5종의 측정 레인지로 구성되어,
저농도부터 고농도까지 폭넓은
농도 관리가 가능합니다.
• 높은 측정 정밀도
제로 안정성 ±0.35%/week 이내, 재현성 ±0.2% Full scale 이내의 성능으로 안정적인 오존수 프로세스 유지
• Remote 출력 및 다양한 출력 인터페이스 지원
• 직관적인 아이콘 표시로 계측기 상태 확인 가능
• 보안(Security) 기능 적용으로 오작동 및 측정 오류 방지
• CE 마크 대응
| 측정 방식 | UV흡수법(254mm) |
|---|---|
| 측정 범위 | ZH-10 : O3 0~10ppm |
| ZH-40 : O3 0~40ppm | |
| ZH-100 : O3 0~100ppm | |
| ZH-200 : O3 0~200ppm | |
| ZH-500 : O3 0~500ppm | |
| 반복성 | Full Scale의 ±0.2% 이내 |
| 직선성 | Full Scale의 ±1.0% 이내 |
제품 구매 및 관련 문의는 아래 이메일 혹은 전화 031-781-0033으로 연락바랍니다.
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