Resistivity Meter
본문
비저항계(HE-480R)
DI Water의 온도 특성을 기반으로 내장 마이크로프로세서가 온도 보상 계수를 연산하여,
25 °C 기준 비저항으로 자동 환산합니다. 공정 중 DI Water를 고정밀로 연속 측정할 수 있으며,
0–100 °C 범위에서의 고정밀 온도 보상을 통해 웨이퍼 최종 세정 공정에 요구되는
엄격한 DI Water 순도 감시에 최적화된 제품입니다.
• 최종 린스 공정의 DI Water 비저항 감시에 최적
• 다양한 온도 보상 기능 내장
• 측정값과 파라미터 설정값 동시 표시
• 직관적인 아이콘 표시 및 보안(Security) 기능 적용
• CE 마크 대응
| 측정 방식 | 2 전극 방식 | |
|---|---|---|
| 셀 정수 | 0.1/cm | |
| 온도 센서 사양 | 백금 온도측정저항체 Pt1000 (0 °C 기준), 온도 계수 3850 ppm/°C (표준) | |
| 측정 범위 | 비저항 | 0–0.200 / 2.00 / 20.00 / 100.0 MΩ·cm (환산 단위: 0–2.00 / 20.0 / 200.0 / 1000 kΩ·m) * 100.0 MΩ·cm / 1000 kΩ·m 범위는 온도 보상 없이 측정 가능 |
| 온도 | 0~100℃(소수점 이하 2자리수까지 선택 표시 가능) | |
| 반복성 | ±0.5% of Full Scale | |
| 직선성 | ±0.5% of Full Scale | |
Carbon Sensor 비저항계(HR-960R-GC)
금속 용출에 의한 오염이 없으며, 불산(HF) 및 과산화수소(H₂O₂)를 포함한 세정액에 대해
우수한 내약품성을 갖는 Glass Carbon 센서를 적용한 비저항계입니다.
Carbon 표면의 특수 처리로 파티클 유출을 최소화하였으며, One Bath 세정 시스템의 린스 공정에서도
비저항 측정이 가능하여 세정 공정 전반의 고품질 공정 관리를 실현할 수 있습니다.
• 우수한 내약품성으로 One Bath 세정 공정의 고품질 관리 실현
• 빠르고 안정적인 고속 응답성
• 다양한 온도 보상 기능 내장
• 직관적인 아이콘 표시 및 보안(Security) 기능 적용
• DC 24V 전원 지원
| 측정 방식 | 2 전극 방식 | |
|---|---|---|
| 센서 입력 | 1 채널 | |
| 셀 정수 | 0.1/cm | |
| 온도 센서 사양 | 백금 온도측정저항체 Pt1000 (0 °C 기준), 온도 계수 3850 ppm/°C (표준) | |
| 측정 범위 | 비저항 | 0–0.200 / 2.00 / 20.00 / 100.0 MΩ·cm (환산 단위: 0–2.00 / 20.0 / 200.0 / 1000 kΩ·m) ※ 100.0 MΩ·cm / 1000 kΩ·m 범위는 온도 보상 없이 측정 가능 |
| 온도 | 0~100℃(소수점 이하 2자리수까지 선택 표시 가능) | |
| 반복성 | ±0.5% of Full Scale | |
| 직선성 | ±0.5% of Full Scale | |
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E-Mail : swkim@ktsemi.co.kr