혼합액의 각 성분 농도를 고정밀로 측정하는 농도 모니터 CS-700 시리즈 약액 농도 모니터는 반도체 제조 공정에서 사용되는 혼합 약액 내 각 성분의 농도를 고정밀로 측정합니다. HORIBA 독자 광학 시스템을 개량하여, 혼산 내 성분 농도에 대해 종래 대비 약 5배 향상된 측정 정밀도를 실현하였습니다. 이를 통해 반도체 제조 공정의 품질 관리 강화와 약액 관리 정밀도 향상에 기여합니다.

• 복잡하게 혼재된 산(Acid) 성분 측정에 최적화 (BEOL 공정용 약액)

• 종래 대비 약 5배 향상된 측정 정밀도

• 최대 8성분을 실시간으로 고정밀 측정

• CS-100 Series의 기본 기능과 구조를 유지