Scrubbing Roller
본문
AION PVA BRUSH
Particle제거에 탁월한 성능을 발휘
일본 AION사의 PVA Roller Brush는 표면(내부)에 형성되어 있는 미세한 기공을 통하여 반도체 CMP 공정,
LCD 세정공정, Photo Mask 세정공정 등에서 Particle제거에 탁월한 성능을 발휘하는 제품입니다.
PVA Roller Brush 적용 분야
• 반도체 CMP장비의 Polishing 공정 후 세정공정(Post-CMP)
• Photo Mask 세정공정
• LCD 기판 세정공정
• Hard Disk 세정공정
사양
| No. | Outer dia. | Outer dia.(body) | Inner dia. | Length |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 32mm | 25mm | 12mm | 250mm |
| 2 | 38mm | 31mm | 18mm | 350mm |
| 3 | 48mm | 40mm | 26mm | 350mm |
| 4 | 60mm | 51mm | 32mm | 350mm |
| 5 | 70mm | 60mm | 32mm | 350mm |
| 6 | 76mm | 67mm | 26mm | 500mm |
| 7 | 89mm | 77mm | 26mm | 500mm |
| 8 | 106mm | 94mm | 60mm | 500mm |
* 상기 규격 중 길이는 표준규격품의 최대길이를 뜻합니다.
Applications
| - BS-402-1 (AMAT LK 300mm) |
| - BS-102-1 (EBARA F*REX 300mm) |
| - BS-352-0 (On-Track 200mm) |
| - BS-401-0 (AMAT 200mm) |
| - BS-101-0, CS003 (EBARA 200mm) |
| - FS-101-0 (Auriga-EC 200mm) |
| - CS-001/002 (IPEC-776) |
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