각종 약액을 고정밀 로 측정하는 농도모니터 CS-100 시리즈는 반도체 제조 공정 중 세정 및 에칭 공정에 사용되는 다양한 약액의 농도를 고정밀로
측정하는 농도 모니터입니다. 고속 응답성과 컴팩트한 설계를 바탕으로 각 성분의 농도를 실시간으로 측정하고,
알람 출력을 통해 약액 교환 또는 자동 Adding 시점을 정확하게 제어할 수 있습니다.
또한 짧은 측정 주기로 농도 변화에도 신속하고 안정적으로 대응합니다.
• 실시간 농도 추종성   약 3초 측정 주기를 통해 300mm 공정의 농도 관리를 실현하며, Multi Bath 및 One Bath 방식의 세정 장비
  모두에서 세밀하고 안정적인 농도 관리를 지원합니다.
• Full Auto 측정으로 간편한 관리   측정은 Full Auto 방식으로 수행되어, 측정 개시 이후 별도의 제어가 필요하지 않습니다.
  사용자는 약액을 공급하기만 하면 자동으로 측정이 진행됩니다. 또한 참조 스펙트럼 측정에 공기를 사용하므로,
  일상 측정 시 유틸리티용 물이 필요하지 않습니다.
• 기포 대책을 통한 연속 측정   탈포 기능을 내장하여 Flow Cell 직전에서 기포를 제거함으로써, 약액을 흐르는 상태에서도 연속적이고
  안정적인 측정이 가능합니다.
• DC 24V를 채용한 높은 안전성    전원은 **저전압 DC 24 V(약 45 W)**를 채용하여 감전 위험을 최소화하고 에너지 효율을 향상시켰습니다.
  또한 Leak 센서를 내장하여 누액 발생 시 약액 공급 차단 등 즉각적인 안전 대응이 가능합니다.
• 경량 Compact 설계   종전 대비 바닥 면적을 약 2/3으로 줄인 컴팩트 설계로 세정 장비의 공간 절약에 기여하며,
  경량 구조로 장비 내부 설치도 용이합니다.