AT사업부

반도체산업을 선도하는 코리아테크노(주)

EFEM System
300mm EFEM System
Model

KTEF-3002A

Wafer의 Loading/Unloading 이송을 자동으로 진행하는 장비 300mm Wafer를 국부청정시스템을 적용하여 Particle 오염을 최소화 하며, Wafer를 작업자의 선택대로
공정에 맞게 Wafer의 Loading/Unloading 이송을 자동으로 진행하는 장비입니다.

사양
Wafer Size 8”(200mm), 12”(300mm)
Dimension 1,720(W) x 1,447(D) x 1,880(H)mm
Weight 700Kg 이하
SEMI Standard 규격 준수
Loading Port 높이 900mm
Cleanliness Class 1 @ 0.1um
Serial RS-232C, Parallel I/O 통신
BCR or RFID System(선택사양)
Inspection EFEM System
Model

KTES-3001A

INSPECTION & EFEM 통합장비 EFEM & Vision 통합 System은 Inspection 을 위한 Wafer 이송/노출 과정에서 발생할 수 있는 Particle오염을
최소화 하고, 통합을 통한 장비의 효율적인 운영, 면적 축소 원가절감의 효과를 가질 수 있습니다.

사양
- 다양한 Load Port 제공
- Vision (Inspection) Table / 공간 제공
- System Controller 통합 가능
- User 맞춤형 디자인 가능
- 생산성 향상

제품 구매 및 관련 문의는 아래 이메일 혹은 전화 031-781-0033으로 연락바랍니다.

E-Mail : smlee@ktsemi.co.kr