300mm EFEM System
Model
KTEF-3002A
Wafer의 Loading/Unloading 이송을 자동으로 진행하는 장비
300mm Wafer를 국부청정시스템을 적용하여 Particle 오염을 최소화 하며, Wafer를 작업자의 선택대로
공정에 맞게 Wafer의 Loading/Unloading 이송을 자동으로 진행하는 장비입니다.
사양
| Wafer Size | 8”(200mm), 12”(300mm) |
|---|---|
| Dimension | 1,720(W) x 1,447(D) x 1,880(H)mm |
| Weight | 700Kg 이하 |
| SEMI Standard 규격 준수 | |
| Loading Port 높이 | 900mm |
| Cleanliness | Class 1 @ 0.1um |
| Serial RS-232C, Parallel I/O 통신 | |
| BCR or RFID System(선택사양) | |
Inspection EFEM System
Model
KTES-3001A
INSPECTION & EFEM 통합장비
EFEM & Vision 통합 System은 Inspection 을 위한 Wafer 이송/노출 과정에서 발생할 수 있는 Particle오염을
최소화 하고, 통합을 통한 장비의 효율적인 운영, 면적 축소 원가절감의 효과를 가질 수 있습니다.
사양
| - 다양한 Load Port 제공 |
| - Vision (Inspection) Table / 공간 제공 |
| - System Controller 통합 가능 |
| - User 맞춤형 디자인 가능 |
| - 생산성 향상 |
제품 구매 및 관련 문의는 아래 이메일 혹은 전화 031-781-0033으로 연락바랍니다.
E-Mail : smlee@ktsemi.co.kr