AT사업부

반도체산업을 선도하는 코리아테크노(주)

FOUP Opener
300mm FOUP Opener
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Model

KTFO-3000

200mm & 300mm 겸용 FOUP Opener 본 장치는 Process Tool과 Interface 되어 300mm FOUP(Front Opening Unified POD)을 Loading 하기위한
Wafer Load Port이며, 300mm FOUP의 Door를 개폐하는 장치로 SEMI Standard 및 Factory Guide Line을
기본으로 설계되어 있습니다.

사양
- 적용: Load / Unload 300mm FOUP
- FOUP Door Lock Vacuum suction (-50kPa Min, required)
- Fast open and close cycle time
- Wafer mapping
- BCR or RFID System
SEMI Standard 준수
- Serial RS-232C (SECS I/II), D, I/O
- 장비와의 간편한 통합성 (Centering kit & free standing)
- Wafer 돌출 Sensing
- Pinch point protection
Bulk Etching System
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Model

SMIF Index(Embed Type)

사양
  • - 200mm Wafer /Mask POD에 적용 가능
  • - SMIF POD에 적용 가능
  • - SEMI Standard 규격 준수
  • - Particle 오염 최소화
  • - 빠른 Open / Close cycle time
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Model

Table POD opener(Stand alone Type)

사양
  • - Serial RS-232C, SECS I/II, D, I/O. 통신
  • - Main 장비 적용 시 통합구성의 용이성
  • - Wafer 돌출 감지센서
  • - Wafer mapping (Scanning)
  • - SMIF POD or Open Cassette에 적용 가능성(옵션)

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E-Mail : smlee@ktsemi.co.kr