300mm FOUP Opener
Model
KTFO-3000
200mm & 300mm 겸용 FOUP Opener
본 장치는 Process Tool과 Interface 되어 300mm FOUP(Front Opening Unified POD)을 Loading 하기위한
Wafer Load Port이며, 300mm FOUP의 Door를 개폐하는 장치로 SEMI Standard 및 Factory Guide Line을
기본으로 설계되어 있습니다.
사양
| - 적용: Load / Unload 300mm FOUP |
| - FOUP Door Lock Vacuum suction (-50kPa Min, required) |
| - Fast open and close cycle time |
| - Wafer mapping |
| - BCR or RFID System |
SEMI Standard 준수
| - Serial RS-232C (SECS I/II), D, I/O |
| - 장비와의 간편한 통합성 (Centering kit & free standing) |
| - Wafer 돌출 Sensing |
| - Pinch point protection |
Bulk Etching System
Model
SMIF Index(Embed Type)
사양
- - 200mm Wafer /Mask POD에 적용 가능
- - SMIF POD에 적용 가능
- - SEMI Standard 규격 준수
- - Particle 오염 최소화
- - 빠른 Open / Close cycle time
Model
Table POD opener(Stand alone Type)
사양
- - Serial RS-232C, SECS I/II, D, I/O. 통신
- - Main 장비 적용 시 통합구성의 용이성
- - Wafer 돌출 감지센서
- - Wafer mapping (Scanning)
- - SMIF POD or Open Cassette에 적용 가능성(옵션)
제품 구매 및 관련 문의는 아래 이메일 혹은 전화 031-781-0033으로 연락바랍니다.
E-Mail : smlee@ktsemi.co.kr