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반도체산업을 선도하는 코리아테크노(주)

AION PVA BRUSH
Scrubbing Roller
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AION PVA BRUSH

Particle제거에 탁월한 성능을 발휘 일본 AION사의 PVA Roller Brush는 표면(내부)에 형성되어 있는 미세한 기공을 통하여 반도체 CMP 공정,
LCD 세정공정, Photo Mask 세정공정 등에서 Particle제거에 탁월한 성능을 발휘하는 제품입니다.
PVA SCL Brush Roller 적용분야 - 반도체 CMP장비의 Polishing 공정 후 세정공정(Post-CMP) - Photo Mask 세정공정 - LCD 기판 세정공정 - Hard Disk 세정공정

사양
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No. Outer dia. Outer dia.(body) Inner dia. Length
1 32mm 25mm 12mm 250mm
2 38mm 31mm 18mm 350mm
3 48mm 40mm 26mm 350mm
4 60mm 51mm 32mm 350mm
5 70mm 60mm 32mm 350mm
6 76mm 67mm 26mm 500mm
7 89mm 77mm 26mm 500mm
8 106mm 94mm 60mm 500mm
* 상기 규격 중 길이는 표준규격품의 최대길이를 뜻합니다.
Applications
- BS-402-1 (AMAT LK 300mm)
- BS-102-1 (EBARA F*REX 300mm)
- BS-352-0 (On-Track 200mm)
- BS-401-0 (AMAT 200mm)
- BS-101-0, CS003 (EBARA 200mm)
- FS-101-0 (Auriga-EC 200mm)
- CS-001/002 (IPEC-776)
Absorption Roller
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AION PVA Roller Series

PVA Absorption Roller 특징 - LCD, PDP등 GLASS Substrate 제품의 세정 - PCB, Lead Frame 제품 등의 세정 및 건조 - 플라스틱 Film 및 plate의 세정 및 건조

Standard dimensions
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A:Outer dia. B:Inner dia.(Approx. Inner. or PVA core) C:Length D:Length of PVA core
40 22(16) 500~600 Sponge Length
+60~100
50 26(20) 500~600
60 26(20) 500~800
67 26(20), 32(25) 500~800
77 32(25), 38(31), 48(40) 500~1,000
100 48(40), 60(51) 500~1,200
125 76(67), 89(77) 500~1,500
194 89(77) 500~2,000
240 165(146) 500~2,000
* Dimensions listed above are only a part of our standard dimention. Please consult us about the size you desire.
PVA Material Data
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PVA Material Data

PVA 재질 특성

Material Polyvinyl alcohol
Porosity(%) 85~95
Average pore diameter(㎛) 120~180
Apparant density(g/㎤) 0.07~0.11
Water absorption(wt%) 650~1,350
내화학성
Chemicals Concentration Determination  (O : Applicable  X : Not Applicable)
Sulfuric acid 5%> O O
Hydrochloric acid 3%> O O
Nitric acid 1%> O O
Phosphoric acid 5%> O O
Acetic acid 1%> O O
Hydrofluoric acid 5%> O O
Oxalic acid 5%> O O
Citric acid 10%> O O
Hydrogen peroxide 5%> O O
Sodium hydroxide 5%> O O
Ammonium hydroxide 10%> O O
Methanol 30~90% X X
Ethanol 20~90% X X
Isopropanol 10~85% X X
Phenol X X
Ether O O
Ethyl acetate O O
Acetone 20~90% X X
Methyl ethyl ketone O X
Toluene O O
Xylene O O
Tetrahydrofuran O O
Mineral oil O O
Animal and vegetable oils, fats O O

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