OZ사업부

반도체산업을 선도하는 코리아테크노(주)

국산화 O3 Generator
국산화 O3 Generator
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Model

KT-N310H-Rx2

질소 무첨가, 초 고농도/오존가스 발생 System

- 금속 불순물 검출값 이하
- 질소산화물 발생 무(Nox)
- 미세패턴 품질 향상 및 유지
- 보다 안정적인 Clean 오존, 고농도 대유량 대응
- 국제 규격 대응 SEMI-S2, CE making, RoHs directive
사양
Model KT-N125H-Rx2 KT-N260H-Rx2 KT-N310H-Rx2 KT-N900P-R2
Gas Flow(L/min) 5(x2) 10(x2) 20(x2) 140
O3 Concentration(g/㎥) 300 300 300 200
Dimension(WxDxH) 605x817x1,850 605x1,017x1,850 605x1,100x1,950 605x1,200x2,050
성능

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E-Mail : jw-yi@ktsemi.co.kr