국산화 O3 Generator

Model

질소 무첨가, 초 고농도/오존가스 발생 System

- 금속 불순물 검출값 이하
- 질소산화물 발생 무(Nox)
- 미세패턴 품질 향상 및 유지
- 보다 안정적인 Clean 오존, 고농도 대유량 대응
- 국제 규격 대응 SEMI-S2, CE making, RoHs directive

사양

Model	KT-N125H-Rx2	KT-N260H-Rx2	KT-N310H-Rx2	KT-N900P-R2
Gas Flow(L/min)	5(x2)	10(x2)	20(x2)	140
O3 Concentration(g/㎥)	300	300	300	200
Dimension(WxDxH)	605x817x1,850	605x1,017x1,850	605x1,100x1,950	605x1,200x2,050

성능

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