OZ사업부

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TMEIC(JAPAN) O3 Generator
TMEIC(JAPAN) O3 Generator
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Model

OP-H/OG-H Series

ALD/CVD 장비에 적용 가능한 Ozone Generator TMEIC의 신개념 고순도 Ozon Generator는 O2 Gas를 원료로 사용합니다.
기존 N2 사용사양의 Ozone Generator에서 발생할 수 있는 NOx Gas에 의한 파티클 발생 및 장비부식의
가능성을 제거한 ALD (Atomic Layer Deposition)장비에 적용됩니다.

특징 - N2 Gas 무첨가 방식으로 초고농도의 오존발생 독자적인 전극 구조의 개발로 최대 400g/m3(N)의 업계 Top Class의 초고농도를 달성했습니다. - N2 Gas 무첨가 방식으로 금속 Contamination의 발생을 억제 질소산화물의 발생을 최대로 억제한 깨끗한 오존가스는 미세 Pattern의 품질 유지나 막질향상을 도모합니다. - 독자적인 최소Gap 방전 기술을 계승 첫 시작의 특성, 안정성, 냉각 효율이 뛰어난 독자적인 최소 Gap 방전 기술을 계승하고 있습니다. - 국제 규격 대응 CE Mark, SEMI-S2의 국제규격 대응기를 Line-Up

사양
Section OP-250H/OP-250P OP-500H
Gas Flow(L/min) 10 20
O3 Concentration(g/㎥) 300/250 300/250
Dimension(WxDxH) 600x817x1850 600x817x2150
Weight 300 390
*Cooling water Temperature: 18~22℃

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E-Mail : jw-yi@ktsemi.co.kr