400mm Ring Frame Wafer Stocker
본문
Model
KTRST-3000
400mm Ring Wafer Stocker 설비 본 장비는 국부청정 시스템을 적용하여 Particle 오염을 최소화하며, 300mm Wafer가 Mounting 된 400mm Ring Frame를 작업자의 선택대로 공정에 맞게 보관 및 Loading/Unloading 이송을 자동으로 수행하는 장비입니다.
사양
| Wafer Size | Ring Frame for 300mm |
|---|---|
| Load Port | 4 Q’ty (Hybrid) |
| Wafer Stock | 3,000wfs |
| Mini-Environment | FFU(ULPA), Ionizer |
| Through put | 90wfs/h |
| Communication | SECS/GEM |
| FAB Automation | OHT |
| Etc | Barcode Label Print & Attach for FOSB |
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