300mm EFEM System
본문
Model
KTEF-3002A
Wafer의 Loading/Unloading 이송을 자동으로 진행하는 장비
300mm Wafer를 국부청정시스템을 적용하여 Particle 오염을 최소화 하며, Wafer를 작업자의 선택대로
공정에 맞게 Loading/Unloading 이송을 자동으로 진행하는 장비입니다.
사양
| Wafer Size | 8”(200mm), 12”(300mm) |
|---|---|
| Dimension | 1,720(W) x 1,447(D) x 1,880(H)mm |
| Weight | 700Kg 이하 |
| SEMI Standard 규격 준수 | |
| Loading Port 높이 | 900mm |
| Cleanliness | Class 1 @ 0.1um |
| Serial RS-232C, Parallel I/O 통신 | |
| BCR or RFID System(선택사양) | |
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