300mm & 400mm Ring Frame Wafer Stocker
본문
Model
KTWTR-3402A
300mm & 400mm Ring Frame Wafer Stocker 설비 본 장비는 국부청정 시스템을 적용하여 Particle 오염을 최소화하며, 300mm Wafer와 300mm Wafer가 Mounting된 400mm Ring Frame을 작업자의 선택대로 공정에 맞게 보관 및 Loading/Unloading 이송을 자동으로 수행하는 장비입니다.
사양
| Wafer Size | 300mm / Ring Frame for 300mm |
|---|---|
| Load Port | 2 Q’ty (Hybrid) |
| Wafer Stock | 800wfs |
| Mini-Environment | FFU(ULPA), Ionizer |
| Through put | 40wfs/h |
| Communication | SECS/GEM |
| FAB Automation | OHT |
| Etc | Barcode Label Print & Attach for FOSB |
제품 구매 및 관련 문의는 아래 이메일 혹은 전화 031-781-0033으로 연락바랍니다.
E-Mail : smlee@ktsemi.co.kr