Inspection EFEM System
본문
Model
KTES-3001A
본 장비는 EFEM과 Vision System을 통합한 Inspection
전용 설비입니다.
Wafer 이송 및 노출 공정 중 발생할 수 있는 Particle 오염을 최소화하고 통합을 통한 장비의 효율적인 운영과 면적 축소 및 원가 절감에 기여합니다.
사양
| - 다양한 Load Port 제공 |
| - Vision (Inspection) Table / 공간 제공 |
| - System Controller 통합 가능 |
| - User 맞춤형 디자인 가능 |
| - 생산성 향상 |
제품 구매 및 관련 문의는 아래 이메일 혹은 전화 031-781-0033으로 연락바랍니다.
E-Mail : smlee@ktsemi.co.kr