Ring Sorter
본문
Model
KTRS-4002A
12” Wafer와 Ring Frame을 동시에 handling 가능한 설비로,
Host와 통신을 통해 OHT, FAB 자동화 구현이 가능
본 설비는 12" Wafer가 Mounting된 Ring Frame을 핸들링할 수 있으며,
Host와의 통신을 통해 OHT 및 FAB 자동화 구현이 가능합니다.
또한, SEMI Standard 준수 및 Class 10 청정 환경을 만족하여 최적의 공정 성능을 제공합니다.
사양
| Applications | Wafer Sorting, Handling, ID Reading |
|---|---|
| Wafer Size | 300mm + Ring Frame |
| Wafer Type | Notch |
| Dimension | 1,610(W) x 2,980(D) x 2,246(H) |
| Weight | Less then 900Kg |
| Carrier | 300mm Ring Frame Carrier |
| Through put | 550 Sheets / Hr (No ID Reading), 250 Sheets / Hr (No ID Reading) |
| Cleenness | ISO Class 10 |
| FAB Automation | OHT, SESC II, GEM 300 |
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