Laser Marking Sorter
본문
Model
KTLMS-3004B
Silicon Wafer 표면 원하는 위치에 Laser를 이용한 데이터 각인이
가능한 SORTER 설비
Silicon Wafer 표면의 원하는 위치에 Laser로 데이터 각인이 가능한 SORTER 설비로,
기본적인 Sorter 기능과 Laser Marking Reading 기능이 결합된 통합 솔루션입니다.
모든 기능은 전 자동화로 구현 가능하며, OHT 등 FAB Automation 시스템을 지원합니다.
사양
| Applications | Wafer handling, Sorter, ID reading And Serial or 2D making | |
|---|---|---|
| Wafer Size | 8”(200mm), 12”(300mm) | |
| Wafer Type | Notch or Flat Wafer | |
| Dimension | 1,800(W) x 2,500(D) x 2,256(H) (mm) | |
| Weight | 1000KgC | |
| Cassette Type | 8” Open CST(200mm) / 12”FOUP(300mm) | |
| Throughput Without ID Reading | 550 Wafer/hr | |
| With ID Marking and reading | 170 Wafers/Hr (Online 자동화 연동 제외 Test 기준) | |
제품 구매 및 관련 문의는 아래 이메일 혹은 전화 031-781-0033으로 연락바랍니다.
E-Mail : smlee@ktsemi.co.kr